南極天文望遠鏡、空間引力波探(tàn)測裝置、極大規模(mó)集成電路制造裝備(bèi)、光刻機……這一系列關鍵裝備的(de)加工制造，都需要依(yī)靠(kào)超高精度的測量儀器對大量光學元件的各項參數進行測量。以往，超精密測量技術受到國外封鎖，成(chéng)為制約高端裝備制造發(fā)展的瓶頸(jǐng)問題。

        近日，由上海理工大學光電學院莊松林院士領銜的韓森教授團隊與蘇州慧利儀器有限責任公司共建(jiàn)聯合實驗室所研發的(de)國産化(huà)高端産品——數字化激光幹(gàn)涉儀(yí)進展(zhǎn)順(shùn)利。據介紹，該(gāi)項目研究(jiū)成果技術難度大、創新性強，取得了多項自主知識産權，部分産品......，PV值測量等核心指标及相關技術達到國際..水平。

        有(yǒu)裝備制造的地方就需要精密的測(cè)量儀器

        “簡單來說，幹涉儀就是(shì)将激(jī)光分(fèn)為兩束，照射至需要測量的器件上，再彙合産生幹涉，從而..地測量出被測件(jiàn)表面的形貌誤差，包括平面、球面、柱面或者自由曲(qǔ)面。”韓森向(xiàng)科技日報記者(zhě)介(jiè)紹，數字化幹涉檢(jiǎn)測技術是(shì)結合光學幹涉測量(liàng)原理與計算機技術、能夠(gòu)實現納米精(jīng)度的非接觸式測量技術，是超精密光學計量(liàng)、國家大科學裝置及工程、高端工(gōng)業檢測領域.重要的手段之一(yī)。

        中國(guó)裝備制造要實現突破，首先要(yào)解決制造質量問(wèn)題(tí)，其核心關鍵(jiàn)就是超精密測量(liàng)能力。“有裝備制造尤其是高端裝備制造(zào)的地方，就需要(yào)精密的測量儀(yí)器，國内精密測量儀器不能照(zhào)搬國外(wài)的那一套，我們必須把(bǎ)核心技術掌握(wò)在自己手中。”韓森說道。

        團隊針對中國高端檢測儀(yí)器和技術的需求，系統性(xìng)地開展了模塊化激光幹涉儀(yí)設計以及應用(yòng)的關鍵技術的研究與攻關。他們首先(xiān)基于模塊化設計思路開發了激光幹涉儀的核心(xīn)關(guān)鍵部件和測量(liàng)軟件，形成了多種型号(hào)高精密(mì)數字化激光幹(gàn)涉儀；接着在滿足高精度(dù)相對測量基礎上提出..檢測算法和(hé)閉環自檢技術，使平面面形檢測精度提高5倍。

        在雙重(zhòng)身份中縮短創新與市場的距離

        技術創新到市場，還(hái)有多遠的路需要走？“.後一公裡”是科技成果轉化的普遍難題。

        “早在2018年，上理工就與蘇州慧利(lì)儀器有限責任(rèn)公司共建聯(lián)合實驗室，以人為紐帶(dài)，讓高校教(jiāo)授長期深(shēn)度對接産業，更有利于盤活一系列資源。”韓森表示，在“大學教授”和“創業者”的雙重身份下(xià)，高校的基礎(chǔ)創新與企業的技術實踐緊密綁定，提高了科研成果轉化率和使用效(xiào)益。

        目前，項目成果完成(chéng)了數字化激(jī)光幹涉儀的工程化，研制出多種(zhǒng)口徑(jìng)的商業化檢測儀(yí)器，實現“産學研用”的(de)完美結合。相關産品及(jí)技術已經(jīng)在國家計量單(dān)位(wèi)、國家大科(kē)學裝置及(jí)工程、高精密光(guāng)學機械加工行(háng)業等(děng)多家企事業單(dān)位進行推廣(guǎng)應用，有助于提升中國(guó)高端檢測儀器在市場的(de)占有率，推動高精密檢測技術發展。

        項目團隊(duì)還參與起草國家行業标準、國家平晶檢測規程和數字式球面幹涉儀校準規範工作，......。項目授權發明(míng)..5項、實用新型..5項，發表論文10餘(yú)篇，榮獲(huò)中(zhōng)國産學(xué)研創新成果一等獎、日内瓦發(fā)明展特别金獎等多個獎項。