南極天文(wén)望遠鏡(jìng)、空間引(yǐn)力波(bō)探測裝置(zhì)、極大(dà)規模集(jí)成(chéng)電路(lù)制造裝備(bèi)、光刻機……這一系(xì)列關鍵(jiàn)裝備的(de)加(jiā)工制造，都需(xū)要依靠超高精(jīng)度的測量儀器對大量光(guāng)學元(yuán)件的(de)各(gè)項(xiàng)參數(shù)進行(háng)測量。以往(wǎng)，超精密測(cè)量(liàng)技術受到國外封(fēng)鎖，成為(wéi)制約高(gāo)端裝備制(zhì)造發(fā)展的瓶(píng)頸(jǐng)問題(tí)。

        近日，由上海(hǎi)理(lǐ)工大學光(guāng)電學(xué)院莊松林(lín)院士(shì)領銜的(de)韓(hán)森教(jiāo)授團隊(duì)與蘇州(zhōu)慧利儀器有(yǒu)限(xiàn)責任公(gōng)司共建(jiàn)聯合實驗(yàn)室所(suǒ)研發(fā)的(de)國産化高端産品——數字(zì)化激(jī)光幹涉(shè)儀(yí)進展順利(lì)。據介(jiè)紹，該項(xiàng)目研究成果技術難度大、創新性強，取(qǔ)得了多項自主知識(shí)産(chǎn)權，部分産品(pǐn)......，pv值測量等(děng)核心(xīn)指标及相關技術達到國(guó)際..水平。

        有裝備(bèi)制造的地方就(jiù)需要精密的測(cè)量儀器

        “簡(jiǎn)單來(lái)說，幹涉儀就是(shì)将激光分為兩(liǎng)束，照射至(zhì)需要(yào)測量的器件上，再彙(huì)合産生幹(gàn)涉，從而..地測量(liàng)出被測件表面的形貌誤差，包括平(píng)面、球面、柱面或者自(zì)由曲(qǔ)面。”韓(hán)森向科技(jì)日報(bào)記者(zhě)介(jiè)紹(shào)，數字(zì)化幹涉檢(jiǎn)測技術是結合光學(xué)幹涉測量原理與計算機(jī)技術、能夠實現(xiàn)納米精度的非接觸(chù)式測量技(jì)術，是(shì)超精(jīng)密光學(xué)計量、國家大(dà)科學裝置(zhì)及工(gōng)程、高(gāo)端工(gōng)業檢測領(lǐng)域(yù).重要的(de)手段之一。

        中國(guó)裝(zhuāng)備制造要實(shí)現突破，首先要(yào)解決制造(zào)質量問題，其(qí)核心關(guān)鍵就(jiù)是(shì)超(chāo)精密(mì)測(cè)量能力(lì)。“有裝(zhuāng)備制(zhì)造尤(yóu)其(qí)是(shì)高端裝備(bèi)制造(zào)的地(dì)方，就(jiù)需要精密的(de)測量儀(yí)器，國内精(jīng)密測(cè)量儀器(qì)不(bú)能照(zhào)搬國外(wài)的那一(yī)套，我們(men)必須把(bǎ)核心技(jì)術掌握(wò)在自己(jǐ)手中。”韓(hán)森說道。

        團隊針(zhēn)對中(zhōng)國高(gāo)端檢(jiǎn)測儀器和(hé)技術(shù)的需(xū)求，系統性(xìng)地開展了模塊(kuài)化激(jī)光幹涉儀(yí)設計以(yǐ)及(jí)應用(yòng)的關(guān)鍵技術的(de)研究與(yǔ)攻(gōng)關。他們首先基(jī)于模(mó)塊化設計(jì)思路(lù)開發了激(jī)光幹(gàn)涉儀(yí)的(de)核(hé)心關鍵部件和測量(liàng)軟件，形成了多(duō)種型号(hào)高精密(mì)數字化激(jī)光幹涉儀；接(jiē)着在滿(mǎn)足高(gāo)精度(dù)相對(duì)測量基礎上提(tí)出..檢測算法(fǎ)和閉環自檢(jiǎn)技術(shù)，使平面(miàn)面(miàn)形檢測精度提高5倍(bèi)。

        在雙重(zhòng)身(shēn)份中(zhōng)縮短創新與市(shì)場的距離(lí)

        技術創新到市(shì)場，還(hái)有多遠的路需(xū)要(yào)走(zǒu)？“.後一公裡(lǐ)”是科技成果轉(zhuǎn)化的普(pǔ)遍難題(tí)。

        “早在(zài)2018年(nián)，上理工(gōng)就與(yǔ)蘇州慧利(lì)儀(yí)器有(yǒu)限(xiàn)責任(rèn)公司共建聯合實驗(yàn)室，以人為(wéi)紐帶(dài)，讓(ràng)高校教(jiāo)授長期深(shēn)度對接産業，更有利(lì)于盤活(huó)一系列資源。”韓森表示(shì)，在“大學(xué)教授”和(hé)“創業(yè)者”的雙重(zhòng)身份(fèn)下，高(gāo)校的(de)基礎創新與企(qǐ)業的(de)技術(shù)實踐緊密(mì)綁定，提高(gāo)了科(kē)研成果轉化率和使用效(xiào)益。

        目前，項目成(chéng)果完(wán)成(chéng)了數字(zì)化激(jī)光幹(gàn)涉儀(yí)的工(gōng)程化，研制出多種口(kǒu)徑的(de)商業(yè)化檢測儀(yí)器，實(shí)現(xiàn)“産(chǎn)學研用”的(de)完(wán)美結合(hé)。相關(guān)産品及技(jì)術已經在國家(jiā)計量單位(wèi)、國家(jiā)大科學裝置及工程、高精密光(guāng)學機械(xiè)加(jiā)工行業等多家企事(shì)業單(dān)位進(jìn)行推(tuī)廣應用，有(yǒu)助于(yú)提升(shēng)中國高端檢測儀器在市(shì)場(chǎng)的(de)占(zhàn)有率，推(tuī)動高精密(mì)檢測(cè)技術(shù)發展。

        項目(mù)團隊還參與起草國(guó)家行業标(biāo)準、國家平晶檢(jiǎn)測規程和數(shù)字(zì)式球面幹涉儀校準(zhǔn)規(guī)範工作(zuò)，......。項目授權發明..5項(xiàng)、實用新型..5項(xiàng)，發表論文10餘(yú)篇，榮獲(huò)中國産學(xué)研創新成果一等獎(jiǎng)、日内(nèi)瓦發(fā)明展特别金獎(jiǎng)等多個獎項。